4200-SCS 参数分析仪

       4200-SCS是一款能进行器件、材料或过程电气特性分析的模块化全集成参数分析仪。利用9个测量槽和内置低噪声接地单元，您可以根据测试要求或预算限制进行精密配置。
      4200-SCS型半导体特性分析系统- 集成前沿的脉冲能力和精密DC测量，用于65nm节点及更小尺寸，容易使用的4200-SCS型半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机，Windows操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果。其它一些特征使得应力测量功能能够满足各种可靠性测试的需求。

可选仪器：

* 4225-PMU超快I-V模块

* 4220-PGU脉冲发生器单元（仅电压源）

* 4225-RPM远程放大器/开关

* 4200-SMU中等功率源测量单元

* 用于4200-SCS的4210-SMU高功率源测量单元

* 用于4200-SMU和4210-SMU的4200-PA远程前置放大器选件 

* 4200-SCP2双通道示波器卡

* 4200-SCP2HR 200MS双通道示波器卡

超快I-V应用套件：

* 4225-PMU超快I-V模块

直观的、点击式Windows操作环境

• * 独特的远端前置放大器，将SMU的分辨率扩展至 0.1fA

• * 用于高级半导体测试的新型脉冲与脉冲式I-V功能

• * 集成了示波与脉冲测量功能的新型示波卡

• * 内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储

• * 独特的浏览器风格的软件界面，根据器件的类型来安排测试，可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能

• * 内置了Stress/Measure，循环和数据分析功能，通过鼠标点击方式就可进行可靠性测试，包括5个JEDEC规范的样品测试

• * 支持 Keithley590 型与 Agilent 4284/4294型C-V仪、Keithley开关矩阵与Agilent 81110脉冲发生器等多种外围设备

• * 硬件由 Keithley交互式测试环境（KITE）来控制，用户测试模块功能，可用于外接仪表控制与测试平台集成，是KITE功能的扩充

• * 包括驱动软件，支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300，Micromanipulator 的8860自动和手动探针台

• * 支持先进的半导体模型参数提取，包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso